
Einführung
In der Fertigung muss die UV-Folie von der Wafer-Oberfläche abgelöst werden – und das muss schnell gehen. Gleichzeitig gibt es keinen Platz für Fehler: Ein falscher Zug kann dazu führen, dass die Wafer beschädigt wird. Deshalb haben wir eine spezielle UV-Lampe entwickelt, die genau für diese Aufgabe geeignet ist. Es handelt sich dabei nicht um eine allgemein einsetzbare Lampe, sondern um ein speziell entwickeltes Werkzeug für die Produktionslinie. Ihr Zweck ist es, genau die richtige Menge an Licht bei der richtigen Wellenlänge abzugeben, damit die Klebeverbindung sofort zerstört wird. Dadurch lässt sich die Folie einfach und sauber entfernen.
Leistung und Abmessungen
Die Lampe arbeitet mit 400 V – diese Spannung sorgt dafür, dass der UV-Strahl mit der richtigen Intensität erzeugt wird. Das Hochspannungsdesign stellt außerdem sicher, dass die Stromstärke konstant bleibt. Dadurch entstehen keine Schwankungen in der Leistung, die zu ungleichmäßiger Entfernung der Folie führen könnten. Was die Abmessungen angeht: Es handelt sich um einen 300-mm-tiefen Tubus. Das ist kein zufälliger Wert – er passt perfekt zu den Standardausrüstungen zur Handhabung von Wafern. So wird eine gleichmäßige Beleuchtung über die gesamte Fläche der Folie gewährleistet. Es gibt keine Hotspots oder Coldspots – nur eine konstante Beleuchtung über die gesamte Fläche.
Die Leistung der Lampe beträgt 2500 W. Das bedeutet eine hohe Photonendichte – dadurch kann die Entfernung der Folie in unter einer Sekunde erfolgen. Sehr schnell also.
Materialien
Um das Herzstück der Lampe zu verstehen: Die Quarzkapsel ist mit einer speziellen Beschichtung versehen. Ihre Aufgabe besteht darin, das Licht zu formen und die Wellenlängen herauszufiltern, die unnötige Hitze erzeugen würden. Die Energie wird somit genau dort konzentriert, wo sie benötigt wird. Das Ergebnis: Minimale Hitze auf der Wafer-Oberfläche. Zusätzlich gibt es noch die R7s-Basis – sie stellt eine stabile Verbindung her, die den hohen Stromfluss sowie den ständigen Wechsel der Lampen bewältigen kann. Diese Lampe ist also perfekt für den Einsatz in der Produktion geeignet – der Wechsel der Lampen ist dabei einfach und schnell möglich.
Was das für Sie bedeutet
Im Betrieb bedeutet das alles letztendlich eines: Hohe Produktivität. Die Lampe erzeugt das erforderliche Licht mit hoher Präzision – dadurch verkürzt sich der gesamte Prozess auf nur wenige Sekunden. Es handelt sich dabei um einen direkten Ersatz für vorhandene Lampen. Doch man muss auch an die thermische Verwaltung denken: Mit 2500 W Leistung braucht die Lampe ein effektives Kühlsystem. Wenn der Luftstrom und die Kühlung ordentlich funktionieren, kann die Lampe den ganzen Tag über problemlos arbeiten. Für Sie bedeutet das zuverlässige und wiederholbare Entfernung der Folie – ohne Überraschungen. Einfach ein Werkzeug, das seine Aufgabe erledigt und Ihnen ermöglicht, mit Ihrer Arbeit weiterzumachen.